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Câmara Climática TDDB System

A avaliação da confiabilidade do filme de óxido está em demanda, uma vez que está intimidade ligada à confiabilidade dos LSIs, que continuam a se tornar mais densos e com maior funcionalidade.

Esse sistema desempenha um papel importante na identificação da causa de uma falha devido às características e achatamento do filme de óxido e à redução na resistência do filme de óxido.

Dúvidas frequentes

Dúvida 1

 Informações

  • Voltagem / Faixa de aplicação de tensão: -50V a +50V / -100mA a +100mA;
  • Resolução: 1 mV de aumento / 1 pA de aumento; 
  • Voltagem / Faixa de medição de tensão: -50 V a +50 V / -100 mA a +100 mA; 
  • Número de SMUs: 36 unidades SMU (até 324 SMUs).